可防止绕镀的基板载具
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种可防止绕镀的基板载具，可供至少一片基板架设，包括：一个承载板，以及至少一个将基板架设在承载板上的架设单元，该承载板包括一个供基板架设的基板架设部。本实用新型的特征在于：该承载板还包括：两个自基板架设部往相反侧突出的防绕部，前述防绕部并可在基板载具沿着一行进方向移送时，和另一块基板载具上相邻的防绕部重叠。借此可在基板载具载运基板进入溅镀室时，防止镀膜材料由两块基板载具间的间隙绕到基板背面并附着在背面上，以达到提高载运基板溅镀品质的目的。
基本信息
专利标题 ：
可防止绕镀的基板载具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820006107.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-02-03
授权号 ：
CN201158703Y
授权日 ：
2008-12-03
发明人 ：
黄泳钊郑博仁
申请人 ：
北儒精密股份有限公司
申请人地址 ：
台湾省台南县新市乡环东路2段23号
代理机构 ：
中国商标专利事务所有限公司
代理人 ：
万学堂
优先权 ：
CN200820006107.7
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2015-04-01 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101603510491
IPC(主分类) : C23C 14/50
专利号 : ZL2008200061077
申请日 : 20080203
授权公告日 : 20081203
终止日期 : 20140203
号牌文件序号 : 101603510491
IPC(主分类) : C23C 14/50
专利号 : ZL2008200061077
申请日 : 20080203
授权公告日 : 20081203
终止日期 : 20140203
2008-12-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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