本实用新型涉及基于光纤干涉原理的纳米测量机测头，该测头包括接触模式的悬臂梁探针，探针夹持器，基于光纤和分束镜的斐索干涉仪。该系统作为纳米测量机的传感器，感测样品表面的形貌，该系统还可以实现纳米测量机大范围扫描的定位作用，并可将位移信号传输给纳米测量机。本实用新型与现有其他测头的不同之处在于选用光纤传光从而简化干涉仪的结构；特有的探针夹持器，可以使用实验室现有的探针；放大电路中选用了美信新出产的放大芯片，专门用于放大光电二极管输出的电流，并将其转换为电压，提高了电路的性能。在光电转换中使用了提供的光纤干涉原理的纳米测量机测头用于研究不同样品的纳米测量机的扫描。具有扫描范围大、精度高等特点。