一种气压控制装置

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及一种气体压力控制装置，它用于将输入的压缩气体调节并稳定在所需的压力和流量。它包括供气回路和排气回路，供气回路具有减压阀、毛细管和作为供气回路旁路的单向安全阀和精度控制阀，排气回路具有毛细管。藉由上述装置能够提供气压控制精度高、流量稳定的气流，对气压的调节作用依靠装置自身元件调节来实现，不需要外部的控制单元输出控制信号进行控制；系统结果简单，可靠性高，不需要外部动力就能运行，在光刻设备故障时，也能对气压腔体不间断的供气。

基本信息

专利标题：

一种气压控制装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720076823.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-10-31

授权号：

CN201097222Y

授权日：

2008-08-06

发明人：

束剑平王卫李小平杨园园

申请人：

上海微电子装备有限公司

申请人地址：

201203上海市浦东新区张东路1525号

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

王敏杰

优先权：

CN200720076823.8

主分类号：

G05D16/00

IPC分类号：

G05D16/00