一种排气流量自动控制和监测装置

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种排气流量自动控制和监测装置，至少包括排气流量传感器、电路控制模块、执行元件模块和排气调节阀，排气流量传感器与涂胶显影轨道机器的排气管道支路相连；电路控制模块分别与排气流量传感器、执行元件模块相连；排气调节阀置于排气管道支路中；排气管道支路与工厂的排气主系统相连。本实用新型的装置能有效地监测并实时调节涂胶显影轨道机器的排气管道的流量，从而减少报警次数，避免晶圆的返工处理。

基本信息

专利标题：

一种排气流量自动控制和监测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720071748.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-06-27

授权号：

CN201097105Y

授权日：

2008-08-06

发明人：

李勇刚

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

优先权：

CN200720071748.6

主分类号：

G03F7/16

IPC分类号：

G03F7/16 G03F7/26 G03F7/00 H01L21/00

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/16

涂层处理及其设备

法律状态

2017-07-25 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101736764122
IPC(主分类) : G03F 7/16
专利号 : ZL2007200717486
申请日 : 20070627
授权公告日 : 20080806
终止日期 : 无

2013-03-27 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101551993913
IPC(主分类) : G03F 7/16
专利号 : ZL2007200717486
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130301

2008-08-06 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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