一种柔性连接装置
专利权的终止
摘要
本实用新型提供了一种柔性连接装置，用于工件台的减振连接。所述柔性连接装置通过主柔性块和副柔性块的不同自由度的变形，不仅实现了长行程工件台的减振，而且实现了位置误差补偿和防止运动卡死；另外，结构比较简单，同时能够保证其他方向的刚度；在柔性块上安装的缓冲器和接触开关，也对系统运动起到了保护的作用。
基本信息
专利标题 ：
一种柔性连接装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200720071434.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2007-06-22
授权号 ：
CN201051210Y
授权日 ：
2008-04-23
发明人 ：
吕洋袁志扬
申请人 ：
上海微电子装备有限公司
申请人地址 ：
201203上海市张江高科技园区张东路1525号
代理机构 ：
上海智信专利代理有限公司
代理人 ：
王洁
优先权 ：
CN200720071434.6
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2017-07-25 ：
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101736767929
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2007200714346
申请日 : 20070622
授权公告日 : 20080423
终止日期 : 无
号牌文件序号 : 101736767929
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2007200714346
申请日 : 20070622
授权公告日 : 20080423
终止日期 : 无
2008-04-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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