用于存放光罩的光罩架

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种用于存放光罩的光罩架，涉及半导体制造领域的装置。该光罩架包括架体及数个隔板，所述架体包括两侧板和连接两侧板的后板，光罩从架体的前端竖直放置于每层隔板上，所述隔板以倾斜的方式安装于两侧板上，且隔板靠近架体前端的高度高于靠近架体后板的高度。与现有技术相比，本实用新型的光罩架采用倾斜隔板有效增加了存放光罩的安全性。

基本信息

专利标题：

用于存放光罩的光罩架

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720069180.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-04-20

授权号：

CN201035321Y

授权日：

2008-03-12

发明人：

郑丹何少平杨颖

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市张江路18号

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

优先权：

CN200720069180.4

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/20

曝光及其设备

法律状态

2017-05-24 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101722427295
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2007200691804
申请日 : 20070420
授权公告日 : 20080312
终止日期 : 无

2013-04-10 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101563206989
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2007200691804
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130319

2008-03-12 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

文件下载

1、

CN201035321Y.PDF

PDF下载