本实用新型涉及激光法制备各类薄膜的设备，具体地说是一种球形脉冲激光溅射沉积装置，球形真空室的圆周表面上设有样品口、靶口及激光口，第一、二激光口的轴线在球形真空室的上视基准面上，且第一激光口的轴线平行于Z轴，第二激光口的轴线平行于X轴，第一激光口距Z轴的距离与第二激光口距X轴的距离相等；样品口的轴线在球形真空室的上视基准面上，样品口位于第一、二激光口之间且样品口的轴线与两激光口轴线之间的夹角为30～60°；靶口与样品口相对设置，靶口的轴线位于经过样品口的轴线并垂直于上视基准面的平面上，且靶口的轴线平行位于样品口轴线的上方或下方。本实用新型膜层均匀性好，工作效率高，检测准确，有利于分析实验数据。