一种光刻机的晶舟锁紧装置
专利权的终止
摘要
本实用新型提出了一种光刻机的晶舟锁紧装置，针对现有技术中存在的晶舟可以在工作时任意移动有可能造成传动机械臂和晶片损坏的问题而设计，其特征在于，设有一锁紧装置，该锁紧装置与该光刻机电连接，该锁紧装置在该光刻机工作时处于锁紧状态，使晶舟不能移动；在该光刻机不工作时处于解锁状态，使晶舟可以移动。本实用新型提出的一种光刻机的晶舟锁紧装置能够提高系统的可靠性，防止设备和产品的损坏。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻机的晶舟锁紧装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200720005582.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2007-03-09
授权号 ：
CN201017174Y
授权日 ：
2008-02-06
发明人 ：
陈晓琪胡清强鲁旭光
申请人 ：
和舰科技(苏州)有限公司
申请人地址 ：
215123江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号
代理机构 ：
北京连和连知识产权代理有限公司
代理人 ：
高翔
优先权 ：
CN200720005582.8
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 H01L21/027 H01L21/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2011-05-18 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101071100424
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2007200055828
申请日 : 20070309
授权公告日 : 20080206
终止日期 : 20100309
号牌文件序号 : 101071100424
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2007200055828
申请日 : 20070309
授权公告日 : 20080206
终止日期 : 20100309
2008-02-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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