LICoO2的沉积
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
根据本发明，描述了用脉冲调制的dc物理气相沉积方法沉积LiCoO2层。这种沉积可以提供LiCoO2结晶层的低温、高沉积速率的沉积，所述LiCoO2结晶层具有理想的<101>或<003>取向。所述沉积的一些实施方案解决了LiCoO2膜的高速率沉积的需要，所述LiCoO2膜可以用作固态可再充电Li电池中的阴极层。根据本发明的方法的实施方案可以消除常规上使所述LiCoO2层结晶所需的高温(＞700℃)退火步骤。
基本信息
专利标题 ：
LICoO2的沉积
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101255545A
申请号 ：
CN200710194004.8
公开（公告）日 ：
2008-09-03
申请日 ：
2005-12-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张红梅理查德·E·德马雷
申请人 ：
希莫菲克斯公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
王旭
优先权 ：
CN200710194004.8
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C14/06 C23C14/08 C23C14/58 C23C14/54 C30B25/06
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2015-06-17 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101716544019
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利号 : ZL2007101940048
变更事项 : 专利权人
变更前 : 无穷动力解决方案股份有限公司
变更后 : 菲尼克斯公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国科罗拉多州
变更后 : 美国科罗拉多州
号牌文件序号 : 101716544019
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利号 : ZL2007101940048
变更事项 : 专利权人
变更前 : 无穷动力解决方案股份有限公司
变更后 : 菲尼克斯公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国科罗拉多州
变更后 : 美国科罗拉多州
2015-06-17 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101716544020
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利号 : ZL2007101940048
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 菲尼克斯公司
变更后权利人 : 萨普拉斯特研究有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国科罗拉多州
变更后权利人 : 美国特拉华
登记生效日 : 20150528
号牌文件序号 : 101716544020
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利号 : ZL2007101940048
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 菲尼克斯公司
变更后权利人 : 萨普拉斯特研究有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国科罗拉多州
变更后权利人 : 美国特拉华
登记生效日 : 20150528
2013-05-15 ：
授权
2008-10-29 ：
实质审查的生效
2008-09-24 ：
专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)
变更后 : 美国科罗拉多州
登记生效日 : 20080808
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 希莫菲克斯公司
变更后权利人 : 无穷动力解决方案股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国加利福尼亚
登记生效日 : 20080808
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 希莫菲克斯公司
变更后权利人 : 无穷动力解决方案股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国加利福尼亚
2008-09-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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