利用光学三角测量法的光学测量装置
专利权的终止
摘要

本发明涉及光学三角测量装置,其用于测量相对于且垂直于平面参考面(L)的待测面(W)的距离(d)和倾斜。本发明装置包括:装置(8),其用于沿着相同的路径交替地发射两条不同波长的光束(FL,FW);分束器装置(9);分光器(11),其用于将交替分裂的光束导向表面(L)和(W),光束经其反射(FL,FW)以使彼此会聚;光束组合器(12),其收集两组反射光束并将其沿着同一个光学输出路径引导;包括光导发光传感器(15)装置(14),光导发光传感器按与多光束相关的方式放置以交替地接收两个光图像(16L,16W),并且传输(20)代表上述两个光图像每个能量质心位置的信号;装置(17,18),其用于在两条交替发射的光束和光导发光传感器上的两个光图像之间同步时间;装置(17),其用于处理来自光导发光传感器的信号以使提供关于被测面(W)位置和倾斜

基本信息
专利标题 :
利用光学三角测量法的光学测量装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101142535A
申请号 :
CN200680008771.9
公开(公告)日 :
2008-03-12
申请日 :
2006-03-17
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
让-吕克·米什兰
申请人 :
萨热姆防务安全公司
申请人地址 :
法国巴黎
代理机构 :
北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司
代理人 :
王达佐
优先权 :
CN200680008771.9
主分类号 :
G03F9/00
IPC分类号 :
G03F9/00  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F9/00
原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位,例如自动地
法律状态
2015-05-06 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101608725388
IPC(主分类) : G03F 9/00
专利号 : ZL2006800087719
申请日 : 20060317
授权公告日 : 20090805
终止日期 : 20140317
2009-08-05 :
授权
2008-05-07 :
实质审查的生效
2008-03-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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