检测传递到负载的RF功率以及该负载的复数阻抗的方法

专利权的终止

摘要

公开了检测负载的一种或更多种特性的方法系统。可以在射频(RF)功率发生器的输出处检测第一信号的一种或更多种特性。所述第一信号可以具有基频。可以以采样频率对所述第一信号的所述一种或更多种特性进行采样，以产生数字采样信号。所述采样频率可以基于所述第一信号的所述基频的函数被确定。可以从所述数字采样信号确定与所述RF功率发生器联通的所述负载的一种或更多种特性。

基本信息

专利标题：

检测传递到负载的RF功率以及该负载的复数阻抗的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101151542A

申请号：

CN200680001872.3

公开（公告）日：

2008-03-26

申请日：

2006-01-11

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

伊姆兰·艾哈迈德·布塔

申请人：

亿诺维新工程股份有限公司

申请人地址：

美国特拉华州

代理机构：

北京嘉和天工知识产权代理事务所

代理人：

严慎

优先权：

CN200680001872.3

主分类号：

G01R23/16

IPC分类号：

G01R23/16 G01R27/02