振动型陀螺传感器
专利权的终止
摘要
一种振动型陀螺传感器,其中,通过简单的构造获得了尺寸降低和高Q值。所述振动型陀螺传感器(1)包括支撑衬底(2)和安装在所述支撑衬底的表面(2-1)上的振动元件(20),在所述支撑衬底上安装了电路元件,并且形成了具有多个连接盘(4)的线路图案。振动元件(20)包括基座部分(22)和振动器部分(23),所述基座部分具有其上形成了多个与所述连接盘连接的端子(25)的安装表面(22-2),所述振动器部分具有与所述衬底相对的表面,第一电极层(27)在其上从所述基座部分(22)的侧缘以悬臂方式与之成一体突出,所述振动器部分还具有与所述基座部分(22)的安装表面平齐的表面,在所述第一电极层上形成压电层(28),并形成第二电极层(29、30)。通过金属突起(26)将每一端子(25)接合至连接盘(4),由此将振动元件(20)安装到支撑衬底(2)上。
基本信息
专利标题 :
振动型陀螺传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1969168A
申请号 :
CN200680000321.5
公开(公告)日 :
2007-05-23
申请日 :
2006-02-23
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
渡边成人本多顺一佐佐木伸高桥和夫稻熊辉往铃木浩二相泽学
申请人 :
索尼株式会社
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
北京市柳沈律师事务所
代理人 :
陶凤波
优先权 :
CN200680000321.5
主分类号 :
G01C19/56
IPC分类号 :
G01C19/56 G01P9/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
法律状态
2016-04-06 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101654739228
IPC(主分类) : G01C 19/56
专利号 : ZL2006800003215
申请日 : 20060223
授权公告日 : 20100616
终止日期 : 20150223
号牌文件序号 : 101654739228
IPC(主分类) : G01C 19/56
专利号 : ZL2006800003215
申请日 : 20060223
授权公告日 : 20100616
终止日期 : 20150223
2010-06-16 :
授权
2007-07-18 :
实质审查的生效
2007-05-23 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
CN1969168B.PDF
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