电容式微波功率传感器
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
电容式微波功率传感器是利用共面波导上传输的微波功率对MEMS悬臂梁的吸引导致梁的位移，通过测量悬臂梁与传感电极之间电容变化的方式测得共面波导上传输的微波功率的结构，该传感器以GaAs或Si衬底(1)为衬底，在GaAs或Si衬底(1)上设有共面波导(2)，在共面波导地线(21)上连接一条与共面波导(2)相垂直的悬臂梁(3)，该悬臂梁(3)悬空于共面波导(2)的上方，在悬臂梁(3)的端部的下方连接有一个传感电极(4)。该电容式微波功率传感器结构利用悬臂梁感应共面波导上传输的微波信号产生位移，并将之转化为电容变化，可以提高功率传感器的灵敏度和简化结构，并实现了在材料、工艺、可重复性和生产成本等诸多方面的问题。
基本信息
专利标题 ：
电容式微波功率传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620073645.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-06-09
授权号 ：
CN2924545Y
授权日 ：
2007-07-18
发明人 ：
黄庆安韩磊廖小平
申请人 ：
东南大学
申请人地址 ：
210096江苏省南京市四牌楼2号
代理机构 ：
南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 ：
叶连生
优先权 ：
CN200620073645.9
主分类号 ：
G01R21/01
IPC分类号 ：
G01R21/01 B81B7/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R21/00
电功率、功率因数的测量装置
G01R21/01
在具有分布参数的电路中的测量
法律状态
2009-09-09 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2007-07-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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