在氧化锌薄膜上绘制亚微米级紫外发光图案的方法

专利权的终止

摘要

本发明公开的在氧化锌薄膜上绘制亚微米级紫外发光图案的方法，其步骤如下：将醋酸锌、柠檬酸钠和醇胺溶解于去离子水溶液中，调节pH值到10－11，然后将干净的衬底浸入到该溶液中去，于60℃～90℃温度下超声振荡，在衬底上沉积得到氧化锌薄膜；清洗氧化锌薄膜，去除表面反应残余物，在低于400℃的空气气氛中烘干；将氧化锌薄膜置于扫描电镜中，用聚焦电子束在氧化锌薄膜上根据所需图案进行照射。该方法简单廉价，操作方便，易于大规模制备。所得发光图案精度高，能在空气中长期保持不变。本发明可应用于高分辨率的场发射显示和高密度信息存储等领域。另外，由于发光图案不能直观地从形貌上识别，该方法可用来记录秘密文字信息。

基本信息

专利标题：

在氧化锌薄膜上绘制亚微米级紫外发光图案的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1837965A

申请号：

CN200610049580.9

公开（公告）日：

2006-09-27

申请日：

2006-02-24

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

杨德仁谢荣国李东升蒋民华

申请人：

浙江大学

申请人地址：

310027浙江省杭州市西湖区浙大路38号

代理机构：

杭州求是专利事务所有限公司

代理人：

韩介梅

优先权：

CN200610049580.9

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20 H01J37/00

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/20

曝光及其设备

法律状态

2015-04-08 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101605320840
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2006100495809
申请日 : 20060224
授权公告日 : 20080903
终止日期 : 20140224

2008-09-03 ：

授权

2006-11-22 ：

实质审查的生效

2006-09-27 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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