本发明公开了一种获取肖特基二极管结参数的方法，它包括如下步骤：用等效电路来模拟肖特基势垒结；对肖特基势垒结的正向I－V曲线，用双指数函数解析式进行模拟，该双指数函数解析式中包含有反映肖特基势垒结特性和质量的结参数；通过对所述双指数函数解析式的转换和对相关实验数据的换算处理以获取所述结参数的值。本发明的结参数提取方法能为器件特性和参数的稳定性与退化研究提供实用可行的分析手段。利用结电流在不同区间对并联电阻和串联电阻的不同敏感程度，可以通过对I－V特性的定量分析来研究肖特基势垒结质量。本发明为研究和分析肖特基势垒结的质量和可靠性提供了一种新的实用可行的分析技术和手段。