AI－Ni－稀土类元素合金溅射靶
专利权的终止
摘要
本发明提供一种可以减小制造时以及使用时所产生的翘曲(变形)，并能够高精度、高效率地制造靶，而且可以进行稳定的成膜作业的Al－Ni－稀土类元素合金溅射靶。是一种包含Ni以及1或2种以上稀土类元素的Al基合金溅射靶，其特征在于，在以倍率：2000倍以上观察与该靶平面垂直的剖面的时候，纵横尺寸比为2.5以上、且当量圆直径为0.2μm以上的化合物存在5.0×104个/mm2以上。
基本信息
专利标题 ：
AI－Ni－稀土类元素合金溅射靶
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1821437A
申请号 ：
CN200610009203.2
公开（公告）日 ：
2006-08-23
申请日 ：
2006-02-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
钉宫敏洋高木胜寿松崎均喜多下幸太郎米田阳一郎
申请人 ：
株式会社神户制钢所;株式会社钢臂功科研
申请人地址 ：
日本国兵库县
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
汪惠民
优先权 ：
CN200610009203.2
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2022-01-25 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : C23C 14/34
申请日 : 20060215
授权公告日 : 20090805
终止日期 : 20210215
申请日 : 20060215
授权公告日 : 20090805
终止日期 : 20210215
2009-08-05 ：
授权
2006-10-18 ：
实质审查的生效
2006-08-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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