表面检查装置及表面检查方法
专利申请权、专利权的转移
摘要
本发明的表面检查装置，用于检查板状物体(100)的外周边部所形成的多个面(101a、101b、101c)，包括：对板状物体形成有多个面的外周边部进行摄影的摄影装置(30)；及对通过摄影装置得到的图像进行处理的图像处理装置；摄影装置包括：光学系统(11、12、13)，将板状物体的多个面的像引导到同一方向；及单一的摄像机单元(20)，具有摄像面(20d)并配置成使由光学系统引导到同一方向的多个面的像在摄像面上成像。
基本信息
专利标题 ：
表面检查装置及表面检查方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101069088A
申请号 ：
CN200580041177.5
公开（公告）日 ：
2007-11-07
申请日 ：
2005-11-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
林义典西风馆广幸京屋诚泉妻宏治长滨弘美M·清水浜谷和彦
申请人 ：
芝浦机械电子株式会社;东芝陶瓷株式会社
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
陈英俊
优先权 ：
CN200580041177.5
主分类号 ：
G01N21/956
IPC分类号 ：
G01N21/956 G01B11/30 H01L21/66
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
G01N21/956
检测物品表面上的图案
法律状态
2018-09-25 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : G01N 21/956
登记生效日 : 20180906
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 芝浦机械电子株式会社
变更后权利人 : 环球晶圆日本股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本神奈川县
变更后权利人 : 日本新泻县
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 环球晶圆日本股份有限公司
登记生效日 : 20180906
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 芝浦机械电子株式会社
变更后权利人 : 环球晶圆日本股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本神奈川县
变更后权利人 : 日本新泻县
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 环球晶圆日本股份有限公司
2013-04-17 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101569404948
IPC(主分类) : G01N 21/956
专利号 : ZL2005800411775
变更事项 : 专利权人
变更前 : 芝浦机械电子株式会社
变更后 : 芝浦机械电子株式会社
变更事项 : 地址
变更前 : 日本神奈川县
变更后 : 日本神奈川县
变更事项 : 专利权人
变更前 : 科发伦矽晶股份有限公司
变更后 : 环球晶圆日本股份有限公司
号牌文件序号 : 101569404948
IPC(主分类) : G01N 21/956
专利号 : ZL2005800411775
变更事项 : 专利权人
变更前 : 芝浦机械电子株式会社
变更后 : 芝浦机械电子株式会社
变更事项 : 地址
变更前 : 日本神奈川县
变更后 : 日本神奈川县
变更事项 : 专利权人
变更前 : 科发伦矽晶股份有限公司
变更后 : 环球晶圆日本股份有限公司
2013-04-17 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101569404947
IPC(主分类) : G01N 21/956
专利号 : ZL2005800411775
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 芝浦机械电子株式会社
变更后权利人 : 芝浦机械电子株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本神奈川县
变更后权利人 : 日本神奈川县
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 科发伦材料株式会社
变更后权利人 : 科发伦矽晶股份有限公司
登记生效日 : 20130327
号牌文件序号 : 101569404947
IPC(主分类) : G01N 21/956
专利号 : ZL2005800411775
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 芝浦机械电子株式会社
变更后权利人 : 芝浦机械电子株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本神奈川县
变更后权利人 : 日本神奈川县
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 科发伦材料株式会社
变更后权利人 : 科发伦矽晶股份有限公司
登记生效日 : 20130327
2010-05-12 ：
授权
2008-01-02 ：
实质审查的生效
2007-12-05 ：
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 芝浦机械电子株式会社
变更后权利人 : 芝浦机械电子株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本神奈川县
变更后权利人 : 日本神奈川县
变更事项 : 共同申请人
变更前权利人 : 东芝陶瓷株式会社
变更后权利人 : 科发伦材料株式会社
登记生效日 : 20071019
变更前权利人 : 芝浦机械电子株式会社
变更后权利人 : 芝浦机械电子株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本神奈川县
变更后权利人 : 日本神奈川县
变更事项 : 共同申请人
变更前权利人 : 东芝陶瓷株式会社
变更后权利人 : 科发伦材料株式会社
登记生效日 : 20071019
2007-11-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN101069088B.PDF
PDF下载
2、
CN101069088A.PDF
PDF下载
