半导体组件的晶粒跟踪装置及其测试设备

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

本发明提供一种新颖方法、系统及计算机程序产品，用以在材料从例如一工厂或批转移至另一个时跟踪晶粒单元(在例如一批转移过程期间有效地保持晶粒数据与个别晶粒间的对应)。本发明的一个或多个具体实施例希望通过对各晶粒单元(如，位于各批中的)指定个别晶粒ID并且将一范围的晶粒ID与一对应指针字符串相关的方式改进晶粒跟踪机构。当(例如)一些晶粒自例如一第一批转移至一第二批时，有关第一批的整个晶粒信息被拷贝至第二批，且将一不同指针字符串赋予第二批以指示已转移的实际晶粒或晶粒的范围。第一批的指针字符串接着被调整以指示转移后在第一批内剩余的晶粒。

基本信息

专利标题：

半导体组件的晶粒跟踪装置及其测试设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101040290A

申请号：

CN200580035238.7

公开（公告）日：

2007-09-19

申请日：

2005-10-12

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

高弘隆

申请人：

应用材料股份有限公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司

代理人：

徐金国

优先权：

CN200580035238.7

主分类号：

G06Q10/00

IPC分类号：

G06Q10/00 H01L21/66