一种曝光装置以及曝光方法，使靶材料等离子化，并产生脉冲光，以脉冲光进行曝光。本发明的特点是包括：发光机构，使间歇性供应的靶材料等离子化而产生脉冲光；标线片载物台，具备照射脉冲光的标线片；感应基板载物台，配置有照射于标线片经过图案化的脉冲光的感应基板；控制机构，在开始对感应基板上进行曝光前，依据感应基板载物台的驱动时序及脉冲光的发光时序，使曝光开始点或者曝光结束点与发光时序一致的方式，控制感应基板载物台。本发明即使在曝光用光源中，使用使靶材料等离子化而产生的脉冲光的情形时，也能获得良好的曝光量均一性。