隔膜支撑盘
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明公开了一种隔膜支撑盘，其形状为圆盘形，所述隔膜支撑盘内部有多个与圆盘表面垂直的通孔，所述隔膜支撑盘的下表面设有一层隔膜支撑盘垫片，所述垫片下侧还有一层隔膜，所述隔膜向上延伸，包围隔膜支撑盘的侧面，所述圆盘的圆心处有一凸起部分。本发明通过在隔膜支撑盘的圆心处设一凸起部分，使得位于中心位置的硅片的研磨效果大大提高，从而改善了硅片研磨不均匀的问题，而且本发明结构简单，容易实现，在不提高成本的情况下提高了产品的生产效率和产品质量。
基本信息
专利标题 ：
隔膜支撑盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1970228A
申请号 ：
CN200510110603.8
公开（公告）日 ：
2007-05-30
申请日 ：
2005-11-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
蔡晨
申请人 ：
上海华虹NEC电子有限公司
申请人地址 ：
201206上海市浦东新区川桥路1188号
代理机构 ：
上海浦一知识产权代理有限公司
代理人 ：
丁纪铁
优先权 ：
CN200510110603.8
主分类号 ：
B24B37/04
IPC分类号 ：
B24B37/04 B24B29/02
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/04
适用于加工平面的
法律状态
2009-05-20 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-07-25 ：
实质审查的生效
2007-05-30 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN1970228A.PDF
PDF下载
