液体驱动式超微小位移控制装置及控制方法

专利权的终止

摘要

本发明公开了一种液体驱动式超微小位移控制装置及控制方法，该装置由弹性微位移机构与液体驱动控制机构通过连接链相连接组成，上述弹性微位移机构的弹簧和弹性微位移梁的一端分别固定于机体上，弹簧另一端与弹性微位移梁的另一端相连接，工作台及其夹具安装在弹性微位移梁的左端；上述液体驱动控制机构包括有浮室、浮室中含有液体、液体量的增加或减少通过固定在浮室上的液体计量和控制装置进行注入或抽取；上述液体驱动控制机构的标室置于浮室、并悬浮于液体之中，标室中含有液体，液体量的增加或减少通过固定在浮室上的液体计量和控制装置进行注入或抽取，该装置及方法能够方便地通过宏观位移或载荷大小的调整，达到有效的微观操作和控制要求。

基本信息

专利标题：

液体驱动式超微小位移控制装置及控制方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1790209A

申请号：

CN200510101701.5

公开（公告）日：

2006-06-21

申请日：

2005-11-25

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

傅惠南王晓红区仲荣陈东升

申请人：

广东工业大学

申请人地址：

510090广东省广州市东风东路729号

代理机构：

广州粤高专利代理有限公司

代理人：

林丽明

优先权：

CN200510101701.5

主分类号：

G05D3/00

IPC分类号：

G05D3/00 G05D3/10 F03B17/02