本发明涉及一种用电磁波技术无损检测工业物料水分的方法，尤其是对低水分工业物料的检测。本发明所述方法所使用的装置包括金属共振腔、中空介质管和计算机，所述的金属共振腔为被电磁波激励的、恒温的金属共振腔，所述的中空介质管位于金属共振腔中，该方法包括以下步骤：(一)、事先将不同填充密度和水分的煤粉放入共振腔内，并对其频偏Δf和电磁波信号的衰减进行测量，同时测量煤粉的温度，列表存入计算机，完成定标校准过程；(二)、使煤粉连续流过中空介质管，在取样时刻从计算机读出煤粉流经共振腔时的频偏Δf、电磁波信号的衰减和温度，经查表等处理后即知该时刻介质管内煤粉的水分。本发明是一种无接触式测量，测量稳定性好、易调整、免维护。对水分含量为0.31％～1.49％的煤粉，检测结果误差小于0.16％。