基板清洗装置

授权

摘要

本实用新型提供一种基板清洗装置。基板清洗装置包括多个清洗单元和多个通道组件，通道组件连接在相邻的两个清洗单元之间，且清洗液通过通道组件在清洗单元之间流通，多个清洗单元包括第一清洗单元、毛刷清洗单元以及第二清洗单元，多个通道组件包括第一通道组件以及第二通道组件，第一清洗单元的出液端通过第一通道组件和毛刷清洗单元的进液端相连通，毛刷清洗单元的出液端通过第二通道组件和第二清洗单元的进液端相连通，在第一通道组件和第二通道组件之间连接有可开闭的回流管，且当回流管打开时，第一清洗单元和第二清洗单元处于非工作状态。本实用新型的基板清洗装置能够降低清洗液的消耗量，同时能降低能耗。

基本信息

专利标题：

基板清洗装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920720460.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-20

授权号：

CN209998069U

授权日：

2020-01-31

发明人：

刘闽李广圣川村昌宏叶宁张勇史海洋李望张春磊王彬宇

申请人：

成都中电熊猫显示科技有限公司

申请人地址：

四川省成都市双流区公兴街道青栏路1778号

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司

代理人：

黄溪

优先权：

CN201920720460.X

主分类号：

B08B11/04

IPC分类号：

B08B11/04 B08B3/02 B08B1/02 B08B13/00